水系洗浄と炭化水素系真空乾燥を融合したハイブリッド洗浄装置

ハイブリッド洗浄装置の特徴

特許　日本国：第4007751号　実用新型　中国：第2364892号

PVD等、真空蒸着の前洗浄に最適

1. 洗浄

   • アルカリ・中性洗浄剤にて無機物・有機物の洗浄を行う。
   • 真空洗浄のため、ふくろ穴などのある加工部品洗浄可能。
   • 炭化水素系洗浄剤は、その中に混入した不純物をワークに再付着させないために、自動で連続的に蒸留し、常に蒸留した新液を供給するよう、装置内に多段式真空蒸留再生機を内蔵している。

2. 乾燥

   • 真空乾燥の為、温風乾燥と異なり、短時間でシミのない乾燥が可能。また、参加や変色も発生しない。

3. 環境・作業性

   • 塩化メチレンやトリクロロエチレンなどの有機塩素系溶剤を使用しない。
   • 洗浄乾燥処理施設が開放タイプ・大気圧洗浄タイプではなく、密閉された真空容器内で処理する。
   • 高温の排気を大気に排出しない。
   • 本設備が防爆仕様のため安全性が高い。

4. ランニングコスト

   • 乾燥時に排気された炭化水素系洗浄剤は回収・リサイクルしている。
   • 炭化水素系洗浄剤は常時、蒸留しリサイクルしているため、液更新の必要が無く、補充のみで良い。

ハイブリッド洗浄装置の行程概略図

洗浄対象（ワーク）例